ใช้ได้กับเซ็นเซอร์ความดันคอมมอนเรลเชื้อเพลิง Passat 06E906051K

1. วิธีการขึ้นรูปเซ็นเซอร์ความดันประกอบด้วย

ให้สารตั้งต้นเซมิคอนดักเตอร์ โดยที่ชั้นอิเล็กทริก interlayer ชั้นแรก ชั้นอิเล็กทริก interlayer ชั้นแรก และชั้นอิเล็กทริก interlayer ชั้นที่สองถูกสร้างขึ้นบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์

แผ่นอิเล็กโทรดด้านล่างในชั้นอิเล็กโทรดระหว่างชั้นแรก ซึ่งเป็นอิเล็กโทรดร่วมกันแผ่นแรกที่อยู่ในชั้นเดียวกันกับแผ่นอิเล็กโทรดด้านล่างและเว้นระยะห่างกัน

การเชื่อมต่อชั้น;

ก่อตัวเป็นชั้นสังเวยเหนือแผ่นขั้วด้านล่าง

สร้างแผ่นอิเล็กโทรดส่วนบนบนชั้นอิเล็กทริกระหว่างชั้นแรก ชั้นเชื่อมต่อระหว่างกันชั้นแรก และชั้นสังเวย

หลังจากสร้างชั้นบูชายัญแล้วก่อนสร้างแผ่นด้านบนในชั้นเชื่อมต่อโครงข่ายแรก

สร้างร่องเชื่อมต่อและเติมร่องเชื่อมต่อด้วยแผ่นด้านบนเพื่อเชื่อมต่อทางไฟฟ้ากับชั้นเชื่อมต่อโครงข่ายแรก หรือ,

หลังจากสร้างแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนแล้ว ร่องเชื่อมต่อจะเกิดขึ้นในแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนและชั้นเชื่อมต่อโครงข่ายแรกซึ่ง

สร้างชั้นสื่อกระแสไฟฟ้าที่เชื่อมต่อแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนและชั้นเชื่อมต่อโครงข่ายแรกในร่องเชื่อมต่อ

หลังจากเชื่อมต่อแผ่นด้านบนและชั้นเชื่อมต่อโครงข่ายแรกด้วยไฟฟ้าแล้ว ให้ถอดชั้นบูชายัญออกเพื่อสร้างโพรง

2. วิธีการขึ้นรูปเซ็นเซอร์ความดันตามข้อถือสิทธิข้อ 1 โดยในชั้นแรก

วิธีการสร้างชั้นบูชายัญบนชั้นอิเล็กทริกระหว่างชั้นประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้:

การฝากชั้นวัสดุบูชายัญบนชั้นอิเล็กทริก interlayer ชั้นแรก

การสร้างลวดลายชั้นวัสดุบูชายัญเพื่อสร้างชั้นบูชายัญ

3. วิธีการขึ้นรูปเซ็นเซอร์ความดันตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ซึ่งใช้การพิมพ์หินด้วยแสงและการแกะสลัก

ชั้นวัสดุบูชายัญถูกสร้างลวดลายโดยกระบวนการแกะสลัก

4. วิธีการขึ้นรูปเซ็นเซอร์ความดันตามข้อถือสิทธิข้อ 3 โดยที่ชั้นบูชายัญ

วัสดุนี้เป็นคาร์บอนอสัณฐานหรือเจอร์เมเนียม

5. วิธีการขึ้นรูปเซ็นเซอร์ความดันตามข้อถือสิทธิข้อ 4 โดยที่ชั้นบูชายัญ

วัสดุนี้เป็นคาร์บอนอสัณฐาน

ก๊าซกัดที่ใช้ในกระบวนการกัดชั้นวัสดุบูชายัญ ได้แก่ O2, CO, N2 และ Ar;

พารามิเตอร์ในกระบวนการแกะสลักชั้นวัสดุบูชายัญคือ: ช่วงการไหลของ O2 คือ 18 SCCM ~ 22 SCCM และอัตราการไหลของ CO คือ 10%

อัตราการไหลอยู่ระหว่าง 90 SCCM ถึง 110 SCCM อัตราการไหลของ N2 อยู่ในช่วงตั้งแต่ 90 SCCM ถึง 110 SCCM และอัตราการไหลของ Ar

ช่วงคือ 90 SCCM ~ 110 SCCM ช่วงความดันคือ 90 mtor ~ 110 mtor และกำลังอคติคือ

540w~660w。