ใช้กับเซ็นเซอร์ความดันรถไฟสามัญ Passat Fuel 06E906051K

1. วิธีการสร้างเซ็นเซอร์ความดันประกอบด้วย:

จัดหาสารตั้งต้นเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งเป็นชั้นไดอิเล็กทริกอินเตอร์เลย์ตัวแรกชั้นไดอิเล็กทริกอินเตอร์เลย์ตัวแรกและชั้นอิเล็กทริกอินเตอร์เลย์ที่สองจะเกิดขึ้นบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์

แผ่นอิเล็กโทรดที่ต่ำกว่าในชั้นไดอิเล็กทริก interlayer ตัวแรกซึ่งเป็นอิเล็กโทรดร่วมแรกที่อยู่บนชั้นเดียวกับแผ่นอิเล็กโทรดด้านล่างและเว้นระยะห่างกัน

การเชื่อมต่อเลเยอร์;

สร้างชั้นเสียสละเหนือแผ่นขั้วล่าง

การสร้างแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนบนชั้นไดอิเล็กทริก interlayer ตัวแรกชั้นการเชื่อมต่อโครงข่ายแรกและชั้นเสียสละ;

หลังจากสร้างชั้นเสียสละและก่อนที่จะสร้างแผ่นบนในชั้นการเชื่อมต่อโครงข่ายแรก

การสร้างร่องการเชื่อมต่อและเติมร่องการเชื่อมต่อด้วยแผ่นด้านบนเพื่อเชื่อมต่อด้วยไฟฟ้ากับเลเยอร์การเชื่อมต่อโครงข่ายแรก หรือ,

หลังจากก่อตัวแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนร่องเชื่อมต่อจะเกิดขึ้นในแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนและชั้นการเชื่อมต่อโครงข่ายแรกซึ่ง

การสร้างชั้นนำไฟฟ้าที่เชื่อมต่อแผ่นอิเล็กโทรดด้านบนและเลเยอร์การเชื่อมต่อโครงข่ายแรกในร่องเชื่อมต่อ;

หลังจากเชื่อมต่อแผ่นไฟฟ้าบนแผ่นด้านบนและเลเยอร์การเชื่อมต่อระหว่างกันครั้งแรกถอดชั้นเสียสละเพื่อสร้างโพรง

2. วิธีการสร้างเซ็นเซอร์ความดันตามการอ้างสิทธิ์ 1 ซึ่งในชั้นแรก

วิธีการสร้างเลเยอร์การเสียสละบนเลเยอร์อิเล็กทริก interlayer ประกอบด้วยขั้นตอนต่อไปนี้:

ฝากชั้นวัสดุเสียสละบนชั้นไดอิเล็กทริก interlayer แรก;

ลวดลายเลเยอร์วัสดุเสียสละเพื่อสร้างชั้นเสียสละ

3. วิธีการสร้างเซ็นเซอร์ความดันตามการอ้างสิทธิ์ 2 ซึ่งใช้ photolithography และการแกะสลัก

ชั้นวัสดุเสียสละมีลวดลายโดยกระบวนการแกะสลัก

4. วิธีการสร้างเซ็นเซอร์ความดันตามการอ้างสิทธิ์ 3 ซึ่งชั้นเสียสละ

วัสดุเป็นคาร์บอนอสัณฐานหรือเจอร์เมเนียม

5. วิธีการสร้างเซ็นเซอร์ความดันตามการอ้างสิทธิ์ 4 ซึ่งชั้นเสียสละ

วัสดุเป็นคาร์บอนอสัณฐาน

ก๊าซแกะสลักที่ใช้ในกระบวนการแกะสลักชั้นวัสดุเสียสละ ได้แก่ O2, CO, N2 และ AR;

พารามิเตอร์ในกระบวนการแกะสลักชั้นวัสดุเสียสละคือ: ช่วงการไหลของ O2 คือ 18 SCCM ~ 22 SCCM และอัตราการไหลของ CO คือ 10%

อัตราการไหลมีตั้งแต่ 90 SCCM ถึง 110 SCCM อัตราการไหลของ N2 อยู่ในช่วง 90 SCCM ถึง 110 SCCM และอัตราการไหลของ AR

ช่วงคือ 90 SCCM ~ 110 SCCM ช่วงความดันคือ 90 mTor ~ 110 mTor และพลังอคติคือ

540W ～ 660W 。